半導體真空與密封元件系列

半導體真空與密封元件系列

提供半導體製程機台所需的高潔淨真空與密封元件，從 O 型環到客製成型件，守護製程環境。

• 蝕刻、薄膜製程真空艦體密封
• 低出氣材質，降低微粒污染
• 耐電漿、耐腐蝕、耐高溫
• 依圖面開模客製生產